在電子元器件的生產(chǎn)過程中,無論是清洗用水,還是溶液、漿料,都需要使用超純水。集成電路的生產(chǎn)工藝是蝕刻和清洗反復(fù)進(jìn)行,清洗是半導(dǎo)體制程中重要的一環(huán),目的是為了清洗原材料及半成品上可能存在的雜質(zhì)。數(shù)據(jù)顯示,每生產(chǎn)一片集成塊需要消耗超純水3-5升,平均一個(gè)6英寸的晶片需消耗1.2噸的超純水。全球半導(dǎo)體設(shè)備中80%為晶圓加工制造設(shè)備,清洗設(shè)備在其中占比約為8%。作為超純水的主要需求方,微電子業(yè)的迅速發(fā)展將很大推動(dòng)超純水行業(yè)的增長。(數(shù)據(jù)來源:國泰君安產(chǎn)業(yè)觀察)
與普通生活用水不同,超純水一般用于科學(xué)研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領(lǐng)域。超純水指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。超純水的電阻率大于18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm極限值。“超純”強(qiáng)調(diào)了水中各類型的污染物被去除至近乎于零的含量,和常用的術(shù)語“去離子水”不同,除了常規(guī)的表征電解質(zhì)含量的指標(biāo)(電導(dǎo)率或電阻率)外,根據(jù)應(yīng)用的不同還包括有機(jī)物和無機(jī)化合物、溶解和顆粒物質(zhì)、細(xì)菌及溶解氣體等指標(biāo)。
采用“原水來水+疊片過濾器+超濾裝置+板式換熱器+極限分離系統(tǒng)+UV+微米過濾器+EDI裝置+TOC+氮封純水箱”工藝,膜系統(tǒng)通過震動(dòng)技術(shù)增大膜表面的剪切力,防止污染物在膜表面沉積,從而實(shí)現(xiàn)較高的流速,可以處理較高固含量的物料,實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步濃縮及更高的回收率。通過極限分離系統(tǒng)的低能耗優(yōu)勢,大大降低了RO濃水回用系統(tǒng)的運(yùn)行成本,達(dá)到了水資源回用的目的,而且減少了廢水排放。其技術(shù)優(yōu)勢如下:
1、系統(tǒng)運(yùn)行可靠性穩(wěn)定,水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。
2、運(yùn)行成本低,操作及維護(hù)簡單,無需接觸酸堿。
3、占地面積小,自動(dòng)化程度高。
4、無污水排放,無環(huán)境污染,使用安全及環(huán)境良好。
隨著國家對環(huán)保及微電子行業(yè)的重視,超純水的需求潛力逐漸展現(xiàn)出來,產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)眾多。萊特萊德?lián)碛卸囗?xiàng)超純水專用膜核心技術(shù),專業(yè)量身定制水處理方案,可將水質(zhì)達(dá)到18.2MΩ、溶解氧含量3~10ug/L,完全符合電子行業(yè)用水需求。
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