能源、材料和信息被認為是新興新技術(shù)革命的三大支柱。在材料方面,電子材料的發(fā)展尤為引人注目。以大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路為核心的計算機的出現(xiàn),極大地促進了現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)各方面的發(fā)展。一個個劃時代的半導(dǎo)體生產(chǎn)新工藝、新材料、新儀器不斷涌現(xiàn),迅速成為生產(chǎn)力和生產(chǎn)工具,極大地推動了集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
半導(dǎo)體材料成為集成電路發(fā)展的重要基石
半導(dǎo)體數(shù)字集成電路、模擬集成電路、存儲器、專用集成電路和微處理器,無論是在集成度和穩(wěn)定可靠性的提高方面, 還是在生產(chǎn)成本不斷降低方面都上了一個又一個新臺階,它極大地促進了人類在生物工程、航空航天、工農(nóng)業(yè)、商業(yè)、科技、教育、科技等領(lǐng)域的全面發(fā)展,極大地促進和豐富了人們的日常生活。半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展水平是衡量一個國家經(jīng)濟實力和科技進步的主要標志之一。因此可以說,半導(dǎo)體材料是集成電路發(fā)展的重要基石,隨著科技的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體行業(yè)對于用水水質(zhì)的要求也越來越高。
超純水設(shè)備助力半導(dǎo)體企業(yè)蓬勃發(fā)展
半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的時候需要大量的清洗水,隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴格。由于半導(dǎo)體用超純水對多項指標的高要求,所以在半導(dǎo)體行業(yè),超純水不同于其他行業(yè)對水的要求,半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有極為嚴格的水質(zhì)要求。目前我國常用的超純水標準為國標《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)及美標《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13),美標對指標更為嚴格。
超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,水質(zhì)穩(wěn)定在ppt級別,尤其是硼離子可以≤5ppt,能夠更好助力半導(dǎo)體企業(yè)的發(fā)展,形成更強大的企業(yè)競爭力。
超純水設(shè)備在設(shè)計上采用成熟、可靠、自動化程度高的兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后出水電阻率達到18 MΩ.CM以上。EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少,不會對環(huán)境造成污染,有非常高的環(huán)境效益、經(jīng)濟效益。精混床經(jīng)過技術(shù)升級后,無需任何操作能夠穩(wěn)定運行兩年,其出水水質(zhì)能滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標準,降低企業(yè)生產(chǎn)的風(fēng)險和成本。有了EDI超純水設(shè)備“強力助陣” 半導(dǎo)體行業(yè)景氣度將持續(xù)高漲。
半導(dǎo)體是集成電路產(chǎn)業(yè)重要的組成部分,是國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。目前,以移動互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)為基礎(chǔ)的物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,在此推動下,可穿戴式裝置、醫(yī)療電子、移動終端,智能電網(wǎng)、智能交通、智慧城市等新型移動裝置和新型應(yīng)用領(lǐng)域蓬勃興起,從而又進一步促進集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,而超純水設(shè)備的不斷發(fā)展,也有效推動了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。
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